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技術(shù)信息
壓電納米定位臺的工作原理及典型應用
- 分類(lèi):技術(shù)信息
- 作者:
- 來(lái)源:
- 發(fā)布時(shí)間:2023-05-31 14:59
- 訪(fǎng)問(wèn)量:
【概要描述】
壓電納米定位臺的工作原理及典型應用
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壓電納米位移臺的工作原理
壓電納米位移臺主要采用超精密運動(dòng)控制技術(shù),超精密運動(dòng)控制技術(shù)是由光、機、電、控制軟件等多領(lǐng)域技術(shù)集成的運動(dòng)控制技術(shù)。
內部由一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷作為驅動(dòng),其產(chǎn)生單軸或者多軸的運動(dòng);通過(guò)柔性鉸鏈技術(shù)將壓電陶瓷產(chǎn)生的運動(dòng)傳遞和放大;經(jīng)超精密電容傳感器將運動(dòng)信息傳遞給控制系統,再由控制系統對該運動(dòng)進(jìn)行修正、補償和控制;在對運動(dòng)系統進(jìn)行閉環(huán)控制時(shí),可實(shí)現納米、亞納米級別的運動(dòng)分辨率和運動(dòng)控制精度。
壓電納米位移臺的結構
壓電納米定位臺具有移動(dòng)面,是通過(guò)帶有柔性鉸鏈的機械結構將壓電陶瓷產(chǎn)生的位移及出力等進(jìn)行輸出,分直驅與放大兩種結構。以壓電陶瓷作為驅動(dòng)源,結合柔性鉸鏈機構實(shí)現X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運動(dòng)的壓電平臺,驅動(dòng)形式包含壓電陶瓷直驅機構式、放大機構式。具有體積小、無(wú)摩擦、響應速度快等特點(diǎn),配置高精度傳感器,可實(shí)現納米級分辨率及定位精度且具有較高的可靠性,在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著(zhù)主要作用。
壓電納米定位臺的特點(diǎn)
壓電納米定位臺內部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導向機構,一體化的結構設計。機構放大式驅動(dòng)原理,內置高性能壓電陶瓷,可實(shí)現高精度位移,定位精度可達納米級。具有超高的導向精度,有高剛性、高負載、無(wú)摩擦等特點(diǎn)。
壓電納米位移臺典型應用
壓電納米位移臺在基礎科研市場(chǎng),半導體市場(chǎng),先進(jìn)制造業(yè),生物醫藥行業(yè),光學(xué)、通信等行業(yè)都能夠被廣泛應用。尤其隨著(zhù)國家政策對半導體行業(yè)的大力扶持,在半導體精密加工,芯片制造,5G 通訊等具體應用場(chǎng)景,壓電納米位移臺的市場(chǎng)需求得到進(jìn)一步擴充,市場(chǎng)前景更廣闊。
此外,壓電納米定位臺還可用于:
※ 光路調整;
※ 納米操控技術(shù);
※ 納米光刻,生物科技;
※ 激光干涉;
※ CCD圖像處理;
※ 納米測量、顯微操作;
※ 納米壓印、納米定位;
※ 顯微成像,共焦顯微。
三英精控相關(guān)產(chǎn)品
三英精控近年來(lái)從解耦控制、反饋控制、前饋控制、協(xié)同控制等多個(gè)方面深耕超精密運動(dòng)臺控制相關(guān)研究,并不斷進(jìn)步持續獲得進(jìn)展和突破。
三英精控高精度運動(dòng)控制平臺定位精度已達到納米級,性能穩定。
為了貼合不同領(lǐng)域的應用需求,三英精控還可以根據不同需求來(lái)進(jìn)行定制,具有很高的靈活性,操作簡(jiǎn)便,滿(mǎn)足不同應用場(chǎng)合。更多產(chǎn)品信息,請持續關(guān)注三英精控微信公眾平臺或來(lái)電咨詢(xún)。
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