近日，三英精控牽頭承擔的2020年國家重點(diǎn)研發(fā)計劃課題“大型顯示面板前端制造工藝納米尺度物性在線(xiàn)測量與質(zhì)量監控系統”在武漢完成項目驗收。項目向基金委高技術(shù)中心的領(lǐng)導和專(zhuān)家們現場(chǎng)展示了在工況環(huán)境中進(jìn)行大型OLED顯示面板納米尺度量測的工作，包括多晶硅晶粒分析和RDL的尺度精測等項目指標內容。

項目執行團隊密切合作，克服了新冠疫情期間物料供應，研發(fā)工作和合作交流的種種困難，按時(shí)完成了項目。項目研發(fā)了一套可以用質(zhì)量管控的納米測量系統，包括大型實(shí)驗平臺原子力顯微鏡（見(jiàn)圖），與AGV/MGV對接的全自動(dòng)裝樣和測量尋址系統，并實(shí)時(shí)將分析數據上拋到EDA產(chǎn)線(xiàn)質(zhì)量管控系統。項目還開(kāi)發(fā)了產(chǎn)線(xiàn)高噪音環(huán)境進(jìn)行原位噪音補償的新技術(shù)，用于保證高信噪比的納米形貌測量。根據國家情報所和上海情報所的查新報告，該項目實(shí)現了多項關(guān)鍵技術(shù)的創(chuàng )新，并在產(chǎn)線(xiàn)噪音環(huán)境中的大尺寸試樣的納米測量達到了國際先進(jìn)水平。

電子顯示屏制造業(yè)作為高端產(chǎn)業(yè)的代表，近年來(lái)持續保持強勁增長(cháng)勢頭，年產(chǎn)值規模不斷擴大。然而，與國際先進(jìn)水平相比，我國在顯示制造領(lǐng)域仍存在測量技術(shù)瓶頸，尤其是在大型顯示面板的檢測方面。當被測面板尺寸＞1.5m時(shí)，將遠超現有納米測量設備的承載范圍，只能抽樣并裁剪后進(jìn)行離線(xiàn)檢測，造成大型顯示面板檢測效率低、成本高、良率低下的問(wèn)題。針對上述挑戰，由三英精控牽頭聯(lián)合包括天津大學(xué)，沈陽(yáng)自動(dòng)化所，廣東工業(yè)大學(xué)，深圳明銳儀器和華星半導體公司等多家優(yōu)秀高校院所和行業(yè)標桿企業(yè)，共同開(kāi)展產(chǎn)學(xué)研合作，完成了具有精密納米測量指標的支持大尺度試樣的大型原子力顯微鏡的研發(fā)。并于近日在顯示屏產(chǎn)線(xiàn)上實(shí)現了在線(xiàn)檢測，達到了預定目標，有效解決了顯示制造行業(yè)在大型顯示面板在線(xiàn)檢測方面所面臨的難題。

此次原子力顯微鏡在大型顯示面板在線(xiàn)檢測方面的成功應用，將促進(jìn)電子顯示屏制造業(yè)的升級和發(fā)展。不僅提升了電子顯示屏制造業(yè)的產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率，也為我國在全球顯示制造領(lǐng)域的競爭力提升提供了有力支撐。

這臺應用于大型顯示面板在線(xiàn)檢測的國產(chǎn)原子力顯微鏡樣機的誕生，不僅標志著(zhù)三英精控在高精尖科技設備領(lǐng)域邁出了堅實(shí)的一步，更彰顯了我司在超精密運動(dòng)控制領(lǐng)域的強大實(shí)力和創(chuàng )新能力。三英精控針對超大型薄試樣的長(cháng)機械回路，構建了跨尺度高速高精度運動(dòng)平臺，采用宏-微-納三級7個(gè)自由度的聯(lián)動(dòng)協(xié)同精準控制，同時(shí)保證了大行程、高精度。

縱觀(guān)市場(chǎng)，無(wú)論是半導體制造、新材料研發(fā)，還是生物醫學(xué)等領(lǐng)域，對于納米尺度的物性在線(xiàn)測量與質(zhì)量監控都有著(zhù)迫切的需求。相信隨著(zhù)這臺原子力顯微鏡的進(jìn)一步完善和推廣應用，它將在更廣泛的領(lǐng)域中發(fā)揮重要作用。同時(shí)，我們也期望與眾多合作伙伴加強合作，推動(dòng)科技創(chuàng )新和產(chǎn)業(yè)升級的深度融合，為實(shí)現科技強國夢(mèng)貢獻更多的力量。