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一文看懂壓電納米定位臺的工作原理及應用范圍
- 分類(lèi)：技術(shù)文章
- 作者：
- 來(lái)源：
- 發(fā)布時(shí)間：2023-08-02 15:45
- 訪(fǎng)問(wèn)量：
【概要描述】
一文看懂壓電納米定位臺的工作原理及應用范圍
【概要描述】
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壓電納米位移臺的結構
壓電納米定位臺具有移動(dòng)面，是通過(guò)帶有柔性鉸鏈的機械結構將壓電陶瓷產(chǎn)生的位移及出力等進(jìn)行輸出，分直驅與放大兩種結構。以壓電陶瓷作為驅動(dòng)源，結合柔性鉸鏈機構實(shí)現X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運動(dòng)的壓電平臺，驅動(dòng)形式包含壓電陶瓷直驅機構式、放大機構式。運動(dòng)范圍可達500μm，具有體積小、無(wú)摩擦、響應速度快等特點(diǎn)，配置高精度傳感器，可實(shí)現納米級分辨率及定位精度且具有較高的可靠性，在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著(zhù)主要作用。
壓電納米定位臺的工作原理
納米位移臺主要采用超精密運動(dòng)控制技術(shù)超精密技術(shù)是由光、機、電、控制軟件等多領(lǐng)域技術(shù)集成的運動(dòng)控制技術(shù)。
內部由一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷作為驅動(dòng)，其產(chǎn)生單軸或者多軸的運動(dòng)；通過(guò)柔性鉸鏈技術(shù)將壓電陶瓷產(chǎn)生的運動(dòng)傳遞和放大；經(jīng)超精密電容傳感器將運動(dòng)信息傳遞給控制系統，再由控制系統對該運動(dòng)進(jìn)行修正、補償和控制；在對運動(dòng)系統進(jìn)行閉環(huán)控制時(shí)，可實(shí)現納米、亞納米級別的運動(dòng)分辨率和運動(dòng)控制精度。
壓電納米定位臺的特點(diǎn)
壓電納米定位臺內部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導向機構，一體化的結構設計。機構放大式驅動(dòng)原理，內置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現高精度位移，定位精度可達納米級。具有超高的導向精度，有高剛性、高負載、無(wú)摩擦等特點(diǎn)。
壓電納米位移臺典型應用
壓電納米定位臺憑借高穩定性、高分辨率等優(yōu)良特性，廣泛應用于半導體設備、顯微成像、納米技術(shù)、激光與光學(xué)、航天航空、生物醫學(xué)、航天航空等領(lǐng)域。
01 納米位移臺應用于計量型掃描電鏡系統
02 納米位移臺應用于超高分辨掃描系統
03 納米位移臺在納米探針上的應用
04 納米位移臺在微加工系統上的應用
05 納米位移臺在激光直寫(xiě)上的應用
06 納米位移臺在生物醫學(xué)上的應用癌癥診斷掃描儀
第四代基因測序
三英精控相關(guān)產(chǎn)品
三英精控近年來(lái)從解耦控制、反饋控制、前饋控制、協(xié)同控制等多個(gè)方面深耕超精密運動(dòng)臺控制相關(guān)研究，并不斷進(jìn)步持續獲得進(jìn)展和突破。
三英精控高精度運動(dòng)控制平臺定位精度已達到納米級，性能穩定。
NS-X700-01超大行程X軸納米定位臺
典型應用：顯微成像、光學(xué)對準 、光柵刻寫(xiě)、半導體加工 、生物材料分析
NS-Z8-01微型Z軸納米定位臺
典型應用：半導體、表面檢測 、光學(xué)探針、AFM/SPM/SNOM 、高密度存儲
NS-Z700-01超大行程Z軸物鏡定位臺
典型應用：晶圓切割、顯微成像 、微電子精密加工、物鏡調焦及掃描、可定制不同的物鏡接口NS-XY100-02真空吸盤(pán)XY二維納米定位臺
典型應用：表面檢測、顯微成像、激光技術(shù)、半導體加工與測試 、高密度光存儲與磁存儲NS-XY200-02大負載XY二維納米定位臺
典型應用：激光加工、顯微成像、表面分析 、光學(xué)對準、光學(xué)測量
NS-XY400-01超大行程XY二維納米定位臺
典型應用：激光加工、顯微成像、表面分析 、光學(xué)對準、光學(xué)測量
NS-XY20Z5-01AFM專(zhuān)用XYZ三維納米掃描臺
典型應用：AFM/SPM/SFM 、光學(xué)探針、表面檢測 、半導體加工、高密度存儲
NS-XY25Z20-01超緊湊型XYZ三維納米定位臺
典型應用：AFM/SPM/SNOM、表面檢測、光學(xué)探針、高密度存儲、半導體加工
NS-XY400Z100-01超大行程XYZ三維納米定位臺
典型應用：顯微成像、激光加工 、半導體檢測、超分辨率成像、大樣品AFM/SPM/SNOM
為了貼合不同領(lǐng)域的應用需求，三英精控還可以根據不同需求來(lái)進(jìn)行定制，具有極高的靈活性，操作簡(jiǎn)便，滿(mǎn)足不同應用場(chǎng)合。更多產(chǎn)品信息，請持續關(guān)注三英精控微信公眾平臺或來(lái)電咨詢(xún)。
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三英精控（天津）儀器設備有限公司是一家專(zhuān)注于精密運動(dòng)控制技術(shù)和產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)，并致力于為科學(xué)研究、創(chuàng )新研發(fā)及高端儀器、設備的制造等提供系統的技術(shù)解決方案與集成，滿(mǎn)足市場(chǎng)對精密運動(dòng)控制技術(shù)需求的專(zhuān)業(yè)制造商。
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